变压吸附空分制氧始创于20世纪60年代初，并于70年代实现工业化生产。在这之前,传统的工业空分装置大部分采用深冷精馏法(简称深冷法) 制氮机 80年代以来至今CaX和LiX等高吸附分离性能的沸石分子筛的相继开发利用和工艺流程的改进，使得变压吸附空分技术得到迅速地发展，与深冷空分装置相比，PSA过程具有启动时间短和开停车方便、能耗较小和运行成本低、自
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